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[ 文章来源： | 文章作者： | 发布时间：2007-08-22| 字体： [
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大日本印刷与东京大学副教授竹内昌治领导的研究小组联合开发出了利用MEMS技术的微流路芯片。该芯片在硅基材上形成了微细的流路及凹槽图案。可用于蛋白质功能分析及药品开发。通过此次的开发，大日本印刷计划今后面向医疗仪器厂商、制药公司和电子产品厂商，积极开展微流路芯片的试制及量产服务。
芯片上形成了宽度为几百μm以下的流路和凹槽。当含有细胞、细菌等微小颗粒的溶液流入芯片时，微粒子会逐个进入凹槽，等间隔排列。由此便可对细菌等进行分析。
开发的芯片为玻璃、硅、玻璃的3层结构。利用大日本印刷擅长的硅深蚀刻技术，对硅层进行了贯穿蚀刻。可以对凹槽中的微粒子进行透射观察。
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